【設計施工】北京航空航天大學(xué)合肥創(chuàng )新研究院（量子信息科學(xué)國家實(shí)驗室）潔凈實(shí)驗室設計施工項目
項目背景
北京航空航天大學(xué)合肥創(chuàng )新研究院是合肥北航科學(xué)城核心科研載體，聚焦量子信息、微納科技、人工智能等前沿領(lǐng)域。為支撐量子通信、量子計算等尖端研究，研究院需建設高標準的量子信息科學(xué)國家實(shí)驗室。合肥誠悅實(shí)驗設備有限公司憑借多年尖端實(shí)驗室EPC經(jīng)驗，承接1800㎡實(shí)驗室的規劃、建設及系統集成，涵蓋潔凈環(huán)境、精密設施及智能化管控體系，為量子科研提供“零干擾”實(shí)驗環(huán)境。
項目需求
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超凈環(huán)境：萬(wàn)級潔凈室，溫濕度控制（±0.5℃/±3%RH），滿(mǎn)足量子器件制備需求。
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精密防震：微振動(dòng)控制（振動(dòng)速度≤1μm/s），保障光學(xué)平臺、量子干涉儀等高敏設備穩定運行。
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電磁屏蔽：全頻段電磁屏蔽室（屏蔽效能≥80dB），消除外界電磁干擾。
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多功能分區：集成黃光實(shí)驗室（光刻區）、超凈間、低溫實(shí)驗區及配套研發(fā)空間。
誠悅解決方案
1. 實(shí)驗室設計與工程實(shí)施
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功能分區規劃：
區域 技術(shù)標準 核心設備 千級潔凈室 ISO 6級潔凈度，FFU層流送風(fēng)+高分子過(guò)濾器 量子芯片制備設備、電子束光刻機 黃光實(shí)驗室 防靜電環(huán)氧地面，黃光照明（波長(cháng)580nm），溫控±0.3℃ 光刻膠涂布機、掩膜對準曝光系統 電磁屏蔽室 雙層銅網(wǎng)屏蔽結構，濾波電源+波導通風(fēng)窗 量子通信測試系統、超導量子比特實(shí)驗裝置 低溫實(shí)驗區 防冷凝保溫層，液氮/氦氣管道預埋 稀釋制冷機、超導微波諧振腔 -
動(dòng)線(xiàn)優(yōu)化：
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人員流：更衣→風(fēng)淋→潔凈走廊→操作區，單向流動(dòng)減少污染。
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物料流：獨立傳遞窗+氣閘室，實(shí)現物料無(wú)塵傳輸。
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2. 關(guān)鍵系統建設
| 系統類(lèi)別 | 技術(shù)方案 | 性能指標 |
|---|---|---|
| 潔凈系統 | MAU+FFU+高效過(guò)濾器（H14），壓差梯度控制（5-10Pa） | 潔凈度：≥0.5μm粒子≤3520顆/m³（ISO 6級） |
| 精密空調 | 恒溫恒濕機組（±0.5℃/±3%RH），變頻控制+三級過(guò)濾 | 溫度均勻性≤0.3℃，濕度波動(dòng)≤2% |
| 防震系統 | 獨立地基+氣浮隔振平臺，振動(dòng)傳遞率≤1% | 振動(dòng)速度≤0.5μm/s（1-100Hz） |
| 供氣系統 | 集中供氧/氮氣管道（316L不銹鋼），純度≥99.999%，壓力波動(dòng)≤0.5% | 終端壓力0.4-0.8MPa可調 |
3. 智能化管控平臺
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環(huán)境監控系統：
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實(shí)時(shí)監測潔凈度、溫濕度、壓差、VOCs，數據可視化大屏展示。
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異常報警自動(dòng)啟動(dòng)備用系統（如應急送風(fēng)、備用制冷機組）。
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設備物聯(lián)：
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關(guān)鍵設備（光刻機、制冷機）運行狀態(tài)遠程監控，預測性維護提示。
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能耗分析模塊，優(yōu)化空調、通風(fēng)系統能效，節能25%以上。
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項目成果
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技術(shù)達標：
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潔凈室一次性通過(guò)第三方檢測（GB 50591-2010）。
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電磁屏蔽效能≥85dB（1GHz），達到GJB 5792-2006軍標要求。
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科研賦能：
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支撐量子密鑰分發(fā)、拓撲量子計算等3項國家重點(diǎn)課題，實(shí)驗效率提升40%。
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黃光實(shí)驗室光刻精度提升至10nm級，滿(mǎn)足二維材料器件制備需求。
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客戶(hù)評價(jià)：
“誠悅團隊將復雜的量子實(shí)驗室需求轉化為精準的工程方案，其專(zhuān)業(yè)性與細節把控令人信服！”
——北航合肥研究院量子實(shí)驗室負責人
誠悅核心優(yōu)勢
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尖端實(shí)驗室EPC能力：
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服務(wù)中科大、清華等高校量子實(shí)驗室項目，累計交付超50個(gè)高等級潔凈工程。
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自主研發(fā)智能風(fēng)量平衡系統。
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全產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同：
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聯(lián)合德國B(niǎo)inder、美國Terra Universal等品牌，確保關(guān)鍵設備國際領(lǐng)先性能。
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自有14000㎡生產(chǎn)基地，定制化生產(chǎn)防靜電臺柜、電磁屏蔽構件。
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聯(lián)系我們
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電話(huà)：0551-62981198
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地址：合肥市華南城紫蓬工業(yè)園
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官網(wǎng)：ldszs.cn
關(guān)鍵詞：量子信息實(shí)驗室、千級潔凈室、電磁屏蔽工程、黃光實(shí)驗室設計、實(shí)驗室EPC服務(wù)
案例總結
合肥誠悅以“精密環(huán)境+智能管控”為核心，為北航合肥研究院打造國際一流的量子信息科學(xué)實(shí)驗室，助力中國量子科技從理論研究邁向工程化突破，彰顯“大國重器”背后的專(zhuān)業(yè)支撐力。
（注：文中技術(shù)參數基于項目設計標準，實(shí)際數據以驗收報告為準。）
